简介与优势
本实用新型适用于蚀刻组合物的再生领域,提供了一种酸性蚀刻液回收装置,包括酸性蚀刻液废液贮存装置、用于对贮存的酸性蚀刻液废液进行电解处理的电解装置及用于回收所述电解装置进行电解处理后产生的酸性蚀刻再生液的酸性蚀刻液再生装置,所述酸性蚀刻液废液贮存装置、所述电解装置及所述酸性蚀刻液再生装置顺次连接,所述酸性蚀刻液回收装置还包括用于回收所述电解装置产生的氯气的氯气回收装置,所述氯气回收装置分别与所述电解装置、所述酸性蚀刻液再生装置连接。
本实用新型与现有技术相比,有益效果在于:本实用新型提供的一种酸性蚀刻液回收装置,通过氯气回收装置的使用,将电解过程中产生的氯气回收。同时,氯气回收装置中通过化酸剂的使用,能将电解酸性蚀刻废液后产生的氯气吸收并转化成酸,并用于调节酸性蚀刻再生液的酸度,实现了资源的循环使用。这不仅解决了氯气排放问题,而且由氯气产生的酸用于酸性蚀刻再生液的酸度调配,实现了对所产生的氯气的回收及循环利用,也节约了成本。此外,本实用新型提供的酸性蚀刻液回收装置,结构简单,便于操作。